1. Vinnuskilyrði
Rekstrarumhverfishitastig: 18-35℃
Rakastig í rekstrarumhverfi: ≤80%
Rekstrarspenna: 220 V (±10%), 50 Hz (±2%)
2. Færibreytur fyrir einn fjórpóla massagreini
Hánákvæmur fjórpóll úr málmi búinn forfjórpóli;
Fyrirbyggjandi sundurhlutun fjórpólar til að þrífa til að forðast mengun á aðalfjórpólinum;
Engin hitastýring er nauðsynleg til að tryggja gæði og stöðugleikavísa;
Að hámarka jónorkutækni;
Helstu frammistöðuvísar
Næmi: 1 bls.,OFN raðnúmer≥1500:1
Gæðasvið: 1,5-1250 amú
Gæðastöðugleiki: ± 0,10 amu/48 klukkustundir
Gæðanákvæmni: ± 0,10 amu
Hámarks skönnunarhraði:20000 amu/s, með stillanlegum hraða í öllu ferlinu
Upplausn: 0,4-4amu stillanleg
Dynamískt svið: 107
Endurtekningarhæfni hámarksflatarmáls:<2% RSD
Skannunaraðferðir: full skönnun, valkvæð jónavöktun, full skönnun og valkvæð jónasamstillt eftirlit, skiptisskönnun.
3. Jónagjafi
Óvirkur jónagjafi úr keramik tryggir að greiningarefni festist ekki við jónagjafann við langtímanotkun, sem lengir endingartíma hans.;
Tvöföld þráðhönnun, skiptisnotkun til að lengja þráðskiptatímann;
Sjónrænt mat á virkni þráðarins í gegnum athugunarop þráðarins;
Tegund jónagjafa: Rafeindaáhrifagjafi (EI)
Stillingar jóngjafa: Óvirkur keramikjóngjafi, tvöfaldur hugbúnaðarrofi fyrir þráð
Glóþráður straumur: 0-500μA
Jónunarorka: 5-100 eV
Hitastig jóngjafa: 50 ℃-350 ℃
Útbúinn með glugga fyrir þráð til að meta sjónrænt vinnustöðu þráðarins.
Hitastig viðmóts:50-350 ℃
4. Gæðagreiningartæki
Gæðagreiningartæki: búið nákvæmum fjórpóli úr öllu málmi með forfjórpóli
Fjórpólinn er fínstilltur fyrir hitastýringu, sem getur tryggt gæðastöðugleikavísa án þess að þörf sé á hitastýringu.
Hægt að fjarlægja og þvo fyrir fjórstöngina til að koma í veg fyrir mengun á aðalfjórstönginni
Fjórpólinn er með bjartsýni jónaorkutækni sem hámarkar hraða jóna sem fara í gegnum fjórpólinn og bætir gæði merkisins.
5. Skynjari
Langlífandi dreifð dínóða á stigi 13erafeinda margföldunartæki
Útbúinn með 10kV umbreytingardýnóðu og linsukerfi til að fjarlægja hlutlausan hávaða.
6. Lofttæmiskerfi
Dæla á framhliðinni,hraði≥4 m³/h
Stilla upp afkastamikla túrbómólekulardælu,hraði≥250 l/s
Hámarks leyfileg rennslishraði í litskiljunarsúlu: 5 ml/mín. (He)
CSett upp með jónunarlofttæmismæli fyrir heita katóðu og hugbúnaðurinn getur lesið beint úr háu lofttæmi.
7. Skipt/ekki skipt inndælingartæki
Hámarksnotkunarhiti: 450˚C
Gasstýringarstilling: stöðugur þrýstingur, stöðugur flæðishraði, forrit upp/niðurþrýstingur, forrita upp/niður flæði, púlsinnspýting
Örvun forrits/straumhækkun:10. röð
Þrýstingsstillingarsvið: 0-1035 kPa (0-150 psi)
Hámarks sklofningurratíó:9999,9:1
Flágt stillingarsvið: 0-200 ml/mín. (N2)
Flágt stillingarsvið: 0-1000 ml/mín. (H2)
8. Súluofn
Rekstrarhitastig:stofuhita: +4˚Ctil450˚C
Nákvæmni hitastillingar:0,1˚C
Tnákvæmni hitastigsstýringar:0,01˚C
Hitastigsstöðugleiki: ≤0,5%
Thitastigsjafnvægi: ≤2,5%
Umhverfisnæmi: Þegar umhverfishitastig breytist um 1˚C, betra en 0,01℃
Upphitunarhraði::≥100˚C /mín
Forrituð endurtekningarhæfni upphitunar: ≤1%
Forrituð hitunarpöntun: 32
Kælingartími(frá 450 ℃ til 50 ℃): ≤4 mín.
Hámarks keyrslutími: 9999,999 mín.